淺析電子真空計(jì)的測(cè)量范圍
　　電子真空計(jì)在壓力測(cè)量中，除極少數(shù)直接測(cè)量外，絕大多數(shù)是間接測(cè)量。就是先在被測(cè)氣體中引起一定的物理現(xiàn)象，然后再測(cè)量這一過程中與壓力有關(guān)的物理量，進(jìn)而設(shè)法確定壓力值。這是真空測(cè)量的特點(diǎn)，亦會(huì)造成某些問題。
　　任何具體物理現(xiàn)象與壓力的關(guān)系，都是在某一壓力范圍內(nèi)才zui顯著，超出這個(gè)范圍，關(guān)系變得弱了。因此，任何方法都有其一定的測(cè)量范圍，這個(gè)范圍就是電子真空計(jì)的“量程”。盡可能擴(kuò)展每一種方法的量程，是真空科學(xué)研究的重要內(nèi)容之一。近代真空技術(shù)所涉及到的壓力范圍寬達(dá)19個(gè)數(shù)級(jí)(105～10-14pa)，沒有任何一種真空計(jì)能測(cè)量如此寬的壓力范圍，因此總是用幾種真空計(jì)分別管轄一定的區(qū)域。但由于不同型號(hào)的電子真空計(jì)在原理上的差異．在相互銜接的區(qū)域，往往要造成較大的誤差。
　　在被測(cè)空間引起一定物理現(xiàn)象，還會(huì)出現(xiàn)這樣的問題，即從測(cè)量的角度出發(fā)，本需要一種單純的物理現(xiàn)象，但有時(shí)卻不可避免地帶來一系列寄生現(xiàn)象，這些寄生現(xiàn)象不但給測(cè)量量帶來誤差，有時(shí)還會(huì)“喧賓奪主”，*把主要現(xiàn)象掩蓋住了。為改善電子真空計(jì)性能及提高真空測(cè)量準(zhǔn)確度，必須突出主要現(xiàn)象，抑制寄生現(xiàn)象。